Mater.Phys.Mech.(MPM)
No 3, Vol. 21, 2014, pages 305-310

USAGE OF NANOCERAMIC BASED ON ZrO2 IN FABRICATION OF
SOURCES FOR MAGNETRON SPUTTERING

V.G. Konakov, I.A. Ovid'ko, O.Yu. Kurapova, N.N. Novik, I.Yu. Archakov

Abstract

The paper reports the development of the approach providing the opportunity to fabricate nanoceramic sources based on yttrium stabilized zirconia (YSZ) for magnetron sputtering. The approach includes sol-gel reverse precipitation synthesis of nanosize YSZ precursor powders with further freeze-drying resulting in high precursor powder dispersity and low agglomeration level in a wide temperature range. The use of such precursor powders makes possible fabrication of YSZ ceramics free of inorganic binders; this ceramics meets the requirements for the magnetron sputtering source material.

Keywords: nanoceramics; zirconium dioxide (zirconia); sol-gel method

full paper (pdf, 1616 Kb)

ПРИМЕНЕНИЕ НАНОКЕРАМИКИ НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ
ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИШЕНЕЙ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

В.Г. Конаков, И.А. Овидько, О.Ю. Курапова, Н.Н. Новик, И.Ю. Арчаков

Аннотация

Разработана методика изготовления мишеней для магнетронного напыления из нанокерамики на основе диоксида циркония, стабилизированного диоксидом иттрия. Примененная технология синтеза порошков-прекурсоров наноразмерного диоксида циркония, синтезированных золь-гель методом в варианте обратного соосаждения и их обработки методом лиофильной сушки дает возможность сохранения высокой дисперсности и низкой степени агломерированности образцов в широком температурном интервале. Использование таких порошков-прекурсоров обеспечивает возможность создания циркониевых керамик, не содержащих неорганических связок, полностью удовлетворяющих требованиям, предъявляемым к материалу мишеней для магнетронного напыления.

Ключевые слова: нанокерамика; диоксид циркония; золь-гель метод

full paper (pdf, 1616 Kb)