Нелинейная динамика нано- и микроэлектромеханических сенсоров
Направления исследований:
Разработка математических моделей и исследование нелинейной динамики нано- и микроэлектромеханических сенсоров, основанных на явлении модальной локализации колебаний в слабо связанных системах при электростатическом и лазерном термооптическом возбуждении с учетом связанности тепловых, электрических и механических процессов.
Основные результаты:
• Изучена динамика и устойчивость упругих элементов нано- и микроэлектромеханических систем (Н/МЭМС) при лазерных термооптических воздействиях. Проведено математическое моделирование и разработка алгоритмов лазерной генерации и управления колебаниями подвижных элементов Н/МЭМС.
• Разработана архитектура и проведено математическое моделирование нелинейной динамики Н/МЭМС-датчиков, основанных на принципе модальной локализации колебаний в системах слабо связанных распределенно-упругих подвижных элементов.
• Разработаны модели высокочувствительных Н/МЭМС датчиков физических величин (акселерометры, гироскопы, детекторы массы частиц, датчики скорости потока протекающей жидкости и др.), основанных на нелинейных статических и спектральных характеристиках распределенно-упругих подвижных элементов с проектируемыми начальными геометрическими возмущениями (мультистабильные системы – системы с переключениями).
Синхронизация колебаний слабосвязанных упругих элементов дифференциального резонансного МЭМС-акселерометра в режиме двухконтурного автогенератор.