Структурные и фазовые превращения в конденсированных средах

Разработка и внедрение метода роста плёнок карбида кремния на кремнии методом замещения атомовИсследование воздействия внешних полей на фазовые переходыТеория нуклеацииПодробнее

Основные результаты: Предложен теоретически и реализован экспериментально принципиально новый метод осаждения карбида кремния на кремнии, который заключается в создании в структуре матрицы подлоПодробнее

Лаборатория фазовых превращений обладает комплексом уникального научного оборудования (УНУ). В состав УНУ входит ультрафиолетовый эллипсометр J.A.Подробнее