Reduction of elastic strains in directly-bonded silicon structures
Год(ы):
1999
Авторы:
Argunova T.S. , Vitman R.F. , Grekhov I.V. , Kostina L.S. , Kudryavtseva T.V. , д.ф.м.н. Гуткин М.Ю. , Shturbin A.V. , Härtwig J. , Ohler M. , Kim E.D. , Kim S.Ch. ,
Название издания:
Physics of the Solid State
Том издания:
41
Выпуск издания:
11
Страницы издания:
1790 - 1798
ДОИ (doi):