Technological vacuum-arc sources of plasma for electronics industry
Год(ы):
1998
Авторы:
Lisenkov A.A. , Merva N.V. ,
Название издания:
1998 4th International Conference on Actual Problems of Electronic Instrument Engineering, APEIE 1998 - Proceedings
Том издания:
1998-September
Выпуск издания:
/ 768909
Страницы издания:
57 - 58
ДОИ (doi):