ipmash@ipme.ru | +7 (812) 321-47-78
пн-пт 10.00-17.00
Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН ) Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН )

МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт проблем машиноведения Российской академии наук

МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт проблем машиноведения Российской академии наук

Technological vacuum-arc sources of plasma for electronics industry

Год(ы):
1998
Авторы:
Lisenkov A.A. , Merva N.V. ,
Название издания:
1998 4th International Conference on Actual Problems of Electronic Instrument Engineering, APEIE 1998 - Proceedings
Том издания:
1998-September
Выпуск издания:
/ 768909
Страницы издания:
57 - 58
Используя этот сайт, вы соглашаетесь с тем, что мы используем файлы cookie.