Interfacial properties of silicon structures fabricated by vacuum grooved surface bonding technology
Год(ы):
1998
Авторы:
Argunova T.S. , Grekhov I.V. , Kostina L.S. , Kudryavtzeva T.V. , д.ф.м.н. Гуткин М.Ю. , Härtwig J. , Kim E.-D. , Kim S.-C. , Kim N.-K. ,
Название издания:
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers
Том издания:
37
Выпуск издания:
12
Страницы издания:
6287 - 6289
ДОИ (doi):