Mechanisms and kinetics of the initial stages of growth of films grown by chemical vapor deposition
Год(ы):
1997
Авторы:
Grigor'ev D.A. , д.ф.м.н. Кукушкин С.А. ,
Название издания:
Technical Physics
Том издания:
42
Выпуск издания:
12
Страницы издания:
846 - 852
ДОИ (doi):