ipmash@ipme.ru | +7 (812) 321-47-78
пн-пт 10.00-17.00
RU EN
Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН ) Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН )

МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт проблем машиноведения Российской академии наук

МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт проблем машиноведения Российской академии наук
  2. Научная деятельность
  3. Dynamics and control of thin film growth process from a multicomponent gas

Dynamics and control of thin film growth process from a multicomponent gas

Год(ы):
1997
Авторы:
д.т.н. Фрадков А.Л. , Guzenko P.Yu. , д.ф.м.н. Кукушкин С.А. , д.ф.м.н. Осипов А.В. ,
Название издания:
Journal of Physics D: Applied Physics
Том издания:
30
Выпуск издания:
20
Страницы издания:
2794 - 2797
ДОИ (doi):
https://doi.org/10.1088/0022-3727/30/20/004
Веб адрес:
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-0031250028&doi=10.1088%2f0022-3727%2f30%2f20%2f004&partnerID=40&md5=76fc5f4f1dc5781502d13dceefafe9a4
Контакты
  • Адрес 199178,Санкт-Петербург,Большой пр. ВО,дом 61
  • Телефон +7 (812) 321-47-78
  • Факс +7 (812) 321-47-71
  • E-MAIL ipmash@ipme.ru
  • эл.почта института Войти
Используя этот сайт, вы соглашаетесь с тем, что мы используем файлы cookie.