Raman investigation of different polytypes in SiC thin films grown by solid-gas phase epitaxy on Si (111) and 6H-SiC substrates
Год(ы):
2010
Авторы:
Wasyluk J. , Perova T.S. , д.ф.м.н. Кукушкин С.А. , д.ф.м.н. Осипов А.В. , Feoktistov N.A. , Grudinkin S.A. ,
Название издания:
Materials Science Forum
Том издания:
645-648
Страницы издания:
359 - 362