Photoinduced self-limited low-temperature growth of ultra-thin silicon-oxide films with water vapor
Год(ы):
2006
Авторы:
Patzner P. , д.ф.м.н. Осипов А.В. , Hess P. ,
Название издания:
Applied Physics A: Materials Science and Processing
Том издания:
85
Выпуск издания:
2
Страницы издания:
145 - 150
ДОИ (doi):