Optical and electrical properties of thin carbide-containing films on silicon
Год(ы):
2006
Авторы:
Belyaev A.P. , д.ф.м.н. Кукушкин С.А. , д.ф.м.н. Осипов А.В. , Rubets V.P. , Gordeev S.K. , Korchagina S.B. ,
Название издания:
Technical Physics Letters
Том издания:
32
Выпуск издания:
5
Страницы издания:
414 - 416
ДОИ (doi):