Kinetics of laser-induced oxidation of silicon near room temperature
Год(ы):
2006
Авторы:
д.ф.м.н. Осипов А.В. , Patzner P. , Hess P. ,
Название издания:
Applied Physics A: Materials Science and Processing
Том издания:
82
Выпуск издания:
2
Страницы издания:
275 - 280
ДОИ (doi):