ipmash@ipme.ru | +7 (812) 321-47-78
пн-пт 10.00-17.00
Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН ) Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН )

МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт проблем машиноведения Российской академии наук

МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт проблем машиноведения Российской академии наук

Separation of stress-free AlN/SiC thin films from Si substrate

Год(ы):
2016
Название издания:
Journal of Physics: Conference Series
Том издания:
741
Выпуск издания:
1 / 012034
Используя этот сайт, вы соглашаетесь с тем, что мы используем файлы cookie.