Semipolar AlN on Si(100): technology and properties
Год(ы):
2017
Авторы:
д.ф.м.н. Кукушкин С.А. , д.ф.м.н. Бессонов Н.М. , д.ф.м.н. Осипов А.В. , A. Kalmykova, S. Konenkov, E.V. Konenkova, A. Myasoedov, V. Panteleev
Квартиль:
Q1
Название издания:
Microelectronic Engineering
Выпуск издания:
178
Страницы издания:
34–37
ДОИ (doi):