Infrared spectroscopy of silicon carbide layers synthesized by the substitution of atoms on the surface of single-crystal silicon
Год(ы):
2015
Авторы:
Grudinkin S.A. , Golubev V.G. , д.ф.м.н. Осипов А.В. , Feoktistov N.A. , д.ф.м.н. Кукушкин С.А. ,
Название издания:
Physics of the Solid State
Том издания:
57
Выпуск издания:
12
Страницы издания:
2543 - 2549
ДОИ (doi):