Technological capabilities of vacuum arc plasma sources: Plasmochemical synthesis of nitride compounds
Год(ы):
2014
Авторы:
Bystrov Yu.A. , Vetrov N.Z. , Lisenkov A.A. , Kostrin D.K. ,
Название издания:
Vakuum in Forschung und Praxis
Том издания:
26
Выпуск издания:
5
Страницы издания:
19 - 23
ДОИ (doi):