Usage of nanoceramic based on ZrO2in fabrication of sources for magnetron sputtering
Год(ы):
2014
Авторы:
д.х.н. Конаков В.Г. , Ovid'ko I.A. , Kurapova O.Y. , Novik N.N. , к.х.н. Арчаков Иван Юрьевич ,
Название издания:
Materials Physics and Mechanics
Том издания:
21
Выпуск издания:
3
Страницы издания:
305 - 310