ipmash@ipme.ru | +7 (812) 321-47-78
пн-пт 10.00-17.00
Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН ) Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН )

МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт проблем машиноведения Российской академии наук

МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт проблем машиноведения Российской академии наук

Strength and structural properties of AlN films grown on SiC/Si substrates synthesized by atomic substitution

Год(ы):
2019
Название издания:
Journal of Physics: Conference Series
Том издания:
1410
Выпуск издания:
1 / 012003
Используя этот сайт, вы соглашаетесь с тем, что мы используем файлы cookie.