Epitaxial Growth of Zinc Sulfide by Atomic Layer Deposition on SiC/Si Hybrid Substrates
Год(ы):
2019
Авторы:
Antipov V.V. , д.ф.м.н. Кукушкин С.А. , д.ф.м.н. Осипов А.В. ,
Название издания:
Technical Physics Letters
Том издания:
45
Выпуск издания:
11
Страницы издания:
1075 - 1077
ДОИ (doi):