Formation of ordered ZnO structures grown by the ALD method on hybrid SiC/Si (100) substrates
Год(ы):
2019
Авторы:
д.ф.м.н. Кукушкин С.А. , д.ф.м.н. Осипов А.В. , Kasatkin I.A. , Mikhailovskii V.Y. , Romanychev A.I. ,
Название издания:
Materials Physics and Mechanics
Том издания:
42
Выпуск издания:
1
Страницы издания:
30 - 39
ДОИ (doi):