Effect of Chemical Treatment of a Silicon Surface on the Quality and Structure of Silicon-Carbide Epitaxial Films Synthesized by Atom Substitution
Год(ы):
2018
Авторы:
Kalinkin I.P. , д.ф.м.н. Кукушкин С.А. , д.ф.м.н. Осипов А.В. ,
Название издания:
Semiconductors
Том издания:
52
Выпуск издания:
6
Страницы издания:
802 - 808
ДОИ (doi):