Plasma of a vacuum-arc discharge for obtaining carbon-based coatings
Год(ы):
2017
Авторы:
Pikus M.I. , Lisenkov A.A. , Kostrin D.K. , Trifonov S.A. ,
Название издания:
Journal of Physics: Conference Series
Том издания:
929
Выпуск издания:
1 / 012093