Cleaning of the dielectric surfaces using a controlled gas-discharge source of fast neutral particles
Год(ы):
2017
Авторы:
Fadeev A.S. , Talanov A.S. , Kostrin D.K. , Trifonov S.A. , Lisenkov A.A. , Goncharov V.D. ,
Название издания:
Journal of Physics: Conference Series
Том издания:
872
Выпуск издания:
1 / 012021