Semipolar AlN on Si(100): Technology and properties
Год(ы):
2017
Авторы:
Bessolov V. , Kalmykov A. , Konenkov S. , Konenkova E. , д.ф.м.н. Кукушкин С.А. , Myasoedov A. , д.ф.м.н. Осипов А.В. , Panteleev V. ,
Название издания:
Microelectronic Engineering
Том издания:
178
Страницы издания:
34 - 37
ДОИ (doi):