Spectral analysis of the charge and elemental composition of the vacuum arc discharge plasma flux during deposition of carbon coatings
Год(ы):
2017
Авторы:
Kostrin D.K. , Trifonov S.A. , Lisenkov A.A. ,
Название издания:
Journal of Physics: Conference Series
Том издания:
857
Выпуск издания:
1 / 012022