Controlled formation of multilayer nanoscale coatings from the vacuum arc discharge plasma
Год(ы):
2017
Авторы:
Kostrin D.K. , Vinogradov M.L. , Pikus M.I. , Mosolova Y.M. , Lisenkov A.A. ,
Название издания:
Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference, ElConRus 2017
Выпуск издания:
/ 7910766
Страницы издания:
1169 - 1172