Peculiarities of the structure formation of nanoscale coatings from the vacuum arc discharge plasma
Год(ы):
2017
Авторы:
Kostrin D.K. , Pikus M.I. , Smirnov E.A. , Lisenkov A.A. ,
Название издания:
Journal of Physics: Conference Series
Том издания:
789
Выпуск издания:
1 / 012030