Thermal and lattice misfit stress relaxation in growing AIN crystal with simultaneous evaporation of SiC substrate
Год(ы):
2017
Авторы:
Argunova T.S. , д.ф.м.н. Гуткин М.Ю. , Shcherbachev K.D. , Nagalyuk S.S. , Kazarova O.P. , Mokhov E.N. , Je J.H. ,
Название издания:
Materials Science Forum
Том издания:
897 MSF
Страницы издания:
711 - 714