Nonlinear dynamics of mode-localized MEMS accelerometer with two electrostatically coupled microbeam sensing elements
Год(ы):
2022
Авторы:
д.ф.м.н. Морозов Н.Ф. , д.ф.м.н. Индейцев Дмитрий Анатольевич , Igumnova V.S. , Lukin A.V. , Popov I.A. , к.ф.м.н. Штукин Лев Васильевич ,
Название издания:
International Journal of Non-Linear Mechanics
Том издания:
138
Выпуск издания:
/ 103852