Elastic properties of porous silicon layer of hybrid SiC/Si substrates
Год(ы):
2021
Авторы:
Eremeev I.A. , Koryakin A.A. , д.ф.м.н. Кукушкин С.А. ,
Название издания:
Journal of Physics: Conference Series
Том издания:
2086
Выпуск издания:
1 / 012006