The Influence of the Porosity of Silicon Layer on the Elastic Properties of Hybrid SiC/Si Substrates
Год(ы):
2021
Авторы:
Koryakin A.A. , Eremeev Y.A. , д.ф.м.н. Осипов А.В. , д.ф.м.н. Кукушкин С.А. ,
Название издания:
Technical Physics Letters
Том издания:
47
Выпуск издания:
2
Страницы издания:
126 - 129
ДОИ (doi):