Sublimation anisotropic etching of silicon carbide in aluminum nitride vapors
Год(ы):
2021
Авторы:
Argunova T.S. , Kazarova O.P. , д.ф.м.н. Гуткин М.Ю. , Mokhov E.N. ,
Название издания:
ECS Journal of Solid State Science and Technology
Том издания:
10
Выпуск издания:
4 / 045008
ДОИ (doi):