A Novel Model of a Mode-Localized MEMS Accelerometer
Год(ы):
2020
Авторы:
д.ф.м.н. Морозов Н.Ф. , д.ф.м.н. Индейцев Дмитрий Анатольевич , Igumnova V.S. , Belyaev Y.V. , Lukin A.V. , Popov I.A. , к.ф.м.н. Штукин Лев Васильевич ,
Название издания:
Doklady Physics
Том издания:
65
Выпуск издания:
10
Страницы издания:
371 - 375
ДОИ (doi):