Epitaxial Growth of Bulk Semipolar AlN Films on Si(001) and Hybrid SiC/Si(001) Substrates
Год(ы):
2020
Авторы:
Название издания:
Technical Physics Letters
Том издания:
46
Выпуск издания:
6
Страницы издания:
539 - 542
ДОИ (doi):