Real-time analysis of UV laser-induced growth of ultrathin oxide films on silicon by spectroscopic ellipsometry
Год(ы):
2005
Авторы:
Patzner P. , д.ф.м.н. Осипов А.В. , Hess P. ,
Название издания:
Applied Surface Science
Том издания:
247
Выпуск издания:
1-4
Страницы издания:
204 - 210
ДОИ (doi):