Adjustment of the plasma flow density in the process of coating formation
Год(ы):
2002
Авторы:
Lisenkov A.A. , Burov I.V. , Pavlova V.A. ,
Название издания:
Plasma Devices and Operations
Том издания:
10
Выпуск издания:
1
Страницы издания:
9 - 15
ДОИ (doi):