Поиск по тегу «microelectromechanical system»
Авторы:
I.M. Komarevtsev, A.S. Kondrateva, A.N. Kazakin, Ya.B. Enns, I.A. Lazdin,
P.A. Karaseov, U.D. Akulshin
Страницы:
009–022
ДОИ (doi):