Поиск по тегу «чистая комната» Новости В ИПМаш РАН создана чистая комната для роста подложек 3C-SiC/Si для транзисторных гетероструктур 19 июня в лаборатории Структурных и фазовых превращений в конденсированных средах состоялось торжественное открытие чистой комнаты класса ISO 7/ISO 8 449