Поиск по тегу «ипмаш»
Ученые Института проблем машиноведения РАН создали абсолютно новую технологию получения карбида кремния на кремнии – кристаллического материала для микроэлектроники, по характеристикам превосходящего использующиеся в настоящее время кремний. Разработанная технология проста и многократно дешевле существующих зарубежных технологий роста карбида кремния на кремнии.