ipmash@ipme.ru | +7 (812) 321-47-78
пн-пт 10.00-17.00
Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН ) Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН )

Institute for Problems in Mechanical Engineering
of the Russian Academy of Sciences

Institute for Problems in Mechanical Engineering of the Russian Academy of Sciences

Crack-free interface in wafer-bonded Ge/Si by patterned grooves

Year(s):
2010
Autors:
Argunova T.S. , d.o.p.a.m.s. Gutkin M.Yu. , Kostina L.S. , Grekhov I.V. , Belyakova E.I. , Je J.H. ,
Name Publication:
Scripta Materialia
Volume Publication:
62
Issue Publication:
6
Pages:
407 - 410
Используя этот сайт, вы соглашаетесь с тем, что мы используем файлы cookie.