ipmash@ipme.ru | +7 (812) 321-47-78
пн-пт 10.00-17.00
Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН ) Институт Проблем Машиноведения РАН ( ИПМаш РАН )

Institute for Problems in Mechanical Engineering
of the Russian Academy of Sciences

Institute for Problems in Mechanical Engineering of the Russian Academy of Sciences

Semipolar AlN and GaN on Si(100): HVPE technology and layer properties

Year(s):
2017
Autors:
Bessolov V. , Kalmykov A. , Konenkova E. , d.o.p.a.m.s. Kukushkin S.A. , Myasoedov A. , Poletaev N. , Rodin S. ,
Name Publication:
Journal of Crystal Growth
Volume Publication:
457
Pages:
202 - 206
Используя этот сайт, вы соглашаетесь с тем, что мы используем файлы cookie.